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二氧化碳發泡機

 

超純水用帶電防止器(The Antistatic System for Ultrapure Water, MEGCON II) (日本NGK)

半導體產品制造中,利用超純水清洗時必不可少的設備。

概要

通常的精密清洗過程中,往往使用不含離子的超純水進行清洗,這樣超純水很容易產生靜電,是以下的各種產品不良的主要原因。

?由靜電產生電路破壞(靜電擊穿)

?被清洗物表面付著電荷,由靜電吸引產生的微粒子粘著

超純水用靜電防止器(MEGAON II) 利用向超純水中深解二氧化炭氣體的方式,將電荷導出,達到除靜電,搞高產品的良品率的目的。

用途

?半導體劃片制程里的清洗

?高壓噴射清洗

?液晶面板清洗

?曝光用MASK清洗

分類

分為MEGACON與ALKARI MEGACON 兩種

MEGACON

特點

1,通過膜將二氧化碳溶解到超純水中,微粒子的混入危險性小,信設備信賴性高;

2,采用自動控制系統,流量變動,目標水阻值可以達到精確控制;

3,設備進出超純水的壓力損失少;

4,歐洲電器標準CE

原理

通過膜裝二氧化碳氣體溶解到超純水中。

產品規格

通用系列
規格 框架式 PRCⅡ-1000AD PRCⅡ-1200AD PRCⅡ-2000AD PRCⅡ-1220AD
柜式 標準型 PRCⅡ-1000ACD PRCⅡ-1200ACD PRCⅡ-2000ACD PRCⅡ-1220ACD
S型 ※1 PRCⅡ-1000ACD-S PRCⅡ-1200ACD-S PRCⅡ-2000ACD-S PRCⅡ-1220ACD-S
性能 最大流量 1000 L/h 1000 L/h 2000 L/h 2000 L/h
系統控制
(最小水阻,流量約500L/h時的值)
0.2~2
MΩ?cm
0.1~0.5
MΩ?cm
0.2~2
MΩ?cm
0.15~1
MΩ?cm
氣體部分 氣體鋼瓶內藏式
超純水水管口徑 框架式 軟管噴嘴(ID19φ編織軟管)
柜式 Rc1/2 Rc3/4
尺寸 框架式 480W×355D×200H mm
柜式 標準型 520W×400D×1150H mm
S型 ※1 520W×400D×1415H mm
重量 框架式 15kg
柜式 標準型 65kg
S型 ※1 66kg
電源 AC100-240V(50/60Hz)
(購入時請指定、無指定情況下為AC100-120V)
液體接觸部分材質

膜箱CELL(二氧化碳導入部件)→PP
配管→PVC、編織軟管

柜式涂裝色 Munsell 2.5Y8 / 2
標裝附屬品 ※2 框架式 使用說明書,檢查成績書
柜式 標準型 使用說明書,檢查成績書
電源100-120V時:電源線(AC100-120V用)+插頭
電源200-240V時:電源線(AC200-240V用)
(上記以外的部件由用戶自行準備)
S型 ※1

 

CE標識
規格 框架式 - -
柜式 E型 FRCⅡ-1000ACD-E FRCⅡ-2000ACD-E
ES型 ※1 FRCⅡ-1000ACD-ES FRCⅡ-2000ACD-ES
性能 最大流量 1000 L/h 2000 L/h
系統控制
(最小水阻,流量約500L/h時的值)
0.2~2
MΩ?cm
0.2~2
MΩ?cm
氣體部分 外部氣體供給式
超純水水管口徑 框架式 -
柜式 Rc3/4
尺寸 ラック型 -
柜式 E型 520W×470D×1150H mm
(含防倒部分)
ES型 ※1 520W×470D×1390H mm
(含防倒部分)
重量 框架式 -
柜式 E型 65kg
ES型 ※1 66kg
電源 AC100-240V(50/60Hz)
液體接觸部分材質 膜箱CELL(二氧化碳導入部件)→PP
配管→SUS304、PP、編織軟管
柜式涂裝色 Munsell 2.5Y8 / 2
標準附屬品 ※2 框架式 -
柜式 E型 使用說明書,檢查成績書
電源線(AC100-240V用)+歐洲標準插頭
ES型 ※1 使用說明書,檢查成績書
電源線(AC100-240V用)+歐洲標準插頭,
數據保存系統

 

※1:S型為2色燈報警器+可移動用腳輪。ES型為2色燈報警器+數據輸出用端子及數據保存用系統。

※2:其它附屬品從下記名稱中選出。預備用膜箱CELL,做為備用,推薦購買。

?校正證明書(水阻)

?預備用膜箱CELL

?水阻監視傳感器SENCER

?數據保存系統

※3:超純水的常用壓力為0.35MPa,瞬時最大壓力保持在0.45MPa以下。

ALKARI MEGCON

特點

1.以改變被清洗物表面的電位的極性及電量的變化,來防止微粒子的靜電付著;

2.采用自動控制系統,流量變動,目標水阻值可以達到精確控制。

原理

利用膜將氨水注入到超純水中

 

規格型號 AMII-10P AMII-20P
性能 流量 300~600 L/h 600~1200 L/h
控制范圍 0.1~1MΩ?cm
配管口徑 超純水 Rc 1/2 Rc 3/4
排氣 25A PVC接頭
尺寸 520W x 400D x 1150H mm
重量 65kg
其它標準 氨水 電子級
氮氣 0.3~0.5MPa x 50NL/min
電源 AC100V(50/60Hz)
涂裝色 Munsell 2.5Y8 / 2
可選項 1.氨水蓄液罐0~15L)
2.氨水殘量監視器(附帶報警器)

可選備品

數據保存系統

可以將水阻值,溫度,流量數據導入電腦,圖表表示。

這些數據可以提高清洗管理水平,及良品率。

對應OS Windows2000、XP、VISTA
使用環境 CPU Pentium 150MHz以上
HDD容量 10MB以上
內存 32MB以上
圖表 畫面種類 1.即時表示 2.保存數據再表示
表示項目 縱軸:水阻測定值(2點)、水溫測定值1點)、流量演算值(1點)
橫軸:時間(年月日時分秒)
警告表示 水阻值上下限警告,二氧化碳殘量少
數據保存 樣本周期 1~60sec (1sec刻度)
保管形式 csv形式、1小時一回數據保存
最長時間 最長1個月
使用數據線 RS-232C(d-sub pin)、RS-485

 

YWORDS: 二氧化碳發泡機,NGK, CELL, セル、 二氧化碳膜, 劃片機用清洗器, 防靜電清洗機, DISCO防靜電清洗, DISCO原廠, DISCO劃片機配套設備, 二氧化碳CELL, SAIL, SELL,

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