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二手設備分類

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咨詢熱線:156-4099-6933
地址:大連市金州區金馬路120號福佳國際大廈611室
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電話:0411-8718-9285
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主要代理品牌匯總

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CMP RETAINER RING

 

CMP吸附膜

我司自行生產制造CMP RETAINER RING CMP保持環,半導體生產用化學機械研磨法用保持環

愛銳精密科技大連有限公司加工銷售半導體用高精密CMP RETAINER RING,CMP保持環備件產品,可提供美國應用材料(AMAT),日本荏原(EBARA),SPEEDFAM, NOVELLUS,東京精密ACCRETEH等主要半導體設備商的及各小廠的6英寸,8英寸,12英寸的CMP RETAINER RING的反向設計及生產,精密高,產品質量穩定,世界各大廠商采用業績非富。



產品介紹:

AMAT設備為代理的樹脂與金屬結合型CMP RETAINER RING結構
CMP RETAINER RING 結構圖

主要構成:

?PPS樹脂部分

 與原廠保持一致,根據客戶需要提供材質。

 其它材質PEEK樹脂,PET樹脂等也有使用,請 咨詢。

 

?金屬部分采用不銹鋼材料

EBARA設備為代表為全樹脂型CMP RETAINER RING結構
EBARA CMP RETAINER?。遥桑危墙Y構

主要結構:

?全PPS樹脂結構,同樣采用以下三家廠商材料,

 與原廠保持一致。

 其它材質PEEK樹脂,PET樹脂等也有使用,請 咨詢。

特殊鎢制程用PEEK材質CMP RETAINER RING結構
特殊鎢制程用CMP RETAINER RING

主要構成:

?樹脂部分采用PEEK+40%炭素材料,

 硬度與耐磨性較PPS要好,消耗亦減少。

 

?金屬部分采用不銹鋼材料。

 

 

產品主要特點:

CMP RETAINER?。遥桑危晴R表檢查 CMP RETAINER RING背面平面研磨

提供樹脂表面的鏡面拋光研磨:

此項服務可以讓最終用戶的DUMMY研磨時間降低,同時降低相關耗材的消耗,節約客戶成本,提供客戶生產效率。

上圖為表面鏡表研磨后采用特殊光學干涉檢查裝置,檢查拋光后的樹脂表面粗糙度照片,鏡表粗糙度(Mirror Surface roughness, )控制在Ra 0.588~0.881 (μm)

提供背部的金屬或樹脂的平行度研磨:

產品的上下表面的平行度會影響被研磨晶圓的精準度及晶圓加工過程中的各部位的研磨率,為保證被加工晶圓的精密度,出貨前做背部的平行研磨,車削產品件的精度平行度在50μm,背部平行研磨后的產品件的平行精度會隆到15μm,大大提高了被加工體的精密。

 

可以提供的相關規格

CMP RETAINER RING AMAT

200MM AMAT設備用

PPS與不銹鋼接合型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING AMAT

200MM AMAT設備用

全PPS樹脂無溝槽型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PEEK材質

200MM AMAT設備用

PEEK+40%炭素材料

與不銹鋼接合有溝槽型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PEEK材質

200MM AMAT設備用

PEEK+40%炭素材料

與不銹鋼接合無溝槽型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PEEK

150MM 全PEEK+40%炭素材料

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PEEK

200MM 全PEEK樹脂

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PET材質

200MM 全PET材質研磨用

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PET

150MM 全PET材質研磨用

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PET-ETX

200MM 全PET-ETX

材質研磨用

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PBT

200MM 全PBT材質研磨用

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING NOVELLUS

200MM NOVELLUS EXTENSION RING

AURIGA SERIES

有溝槽系列

CMP RETAINER RING NOVELLUS

200MM NOVELLUS EXTENSION RING

AURIGA SERIES

無溝槽系列

CMP RETAINER RING NOVELLUS

200MM NOVELLUS

AURIGA GUIDE RING

 

CMP RETAIENR RING NOVELLUS

150MM NOVELLUS

AURIGA GUIDE RING

CMP RETAINER RING EBARA

300MM EBERA G3

全樹脂系列附密封橡膠

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER?。遥桑危恰。牛拢粒遥? width=

200MM EBARA

全樹脂系列

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER REING EBARA

200MM EBARA

全樹脂系列

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING PETER WOLTER GUIDE RING 150MM PETER WOLTER GUIDE RING
CMP RETAINER RING AMAT300

300MM AMAT設備用

PPS與不銹鋼接合型

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER RING EBARA300MM

300MM EBARA G2

全樹脂系列

CMP RETAINER RING

CMP RETAIANER RING EBARA 300MM

300MM EBARA G2S

全樹脂系列

CMP RETAINER RING

CMP RETANER RING EBARA 300

300MM EBARA PEEK+40%炭素

CMP RETAINER RING

CMP RETAINER?。遥桑危恰。粒停粒? width= 300MM AMAT MEMBRANE DIAPHRAGM CMP RETAINER RING SPEEDFAM 200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM
CMP RETAINER RING SPEEDFAM 200MM SPEEDFAM 776 DIAPHRAGM 可以加工的設備商名:

AMAT(MIRRA, REFREXTION),

EBARA,NOVELLUS,

ACCRETECH, SPEEDFAM,

PETER WOLTER

       

 

加工料號舉例(以下料號以外有大量生產實績)

300mm    C-3812-378-0001
300mm    C-3812-431-0001
200mm    C-3812-393-0001

AMAT 300mm PPS + SUS                                              0040-62020

  1. AMAT 300mm Full PPS                                                   0040-88203
  2. AMAT 200mm PEEK+40%C (no glove)                     0040-33583
  3. AMAT 200mm PEEK+40%C                                           0040-51156

0040-94632

    • AMAT 200mm Titan Head N                                        0040-79583
    • AMAT 200mm Titan Head HE                                      0040-80952
    • AMAT 200mm AEP                                                          0040-77243
    • AMAT 200mm AEP2                                                        0040-78263

     

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